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Matching Network

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• Matching Network

  
  
  임피던스 정합장치 (Impedance Matching Network)는 RF Generator에서 공급하는 RF전원을 공정 Chamber로 최대 전력을 고효율로 공급하는 장치로, 공정별로 변화하는 Chamber의 전기적인 Impedance를 RF Generator의 출력 임피던스(50 Ω)와 같아지도록 실시간으로 정합(Match)하여 주는 장치입니다.

• 제품특징

     Full digital matcher

    High power delivery efficiency

    Dual frequency matching operation

    Reflected power : Less than 1% for forward power

    Preset repeatability : ±1% highest compatibility for I/O

• 구분		SEMI	DISPLAY	SOLAR
  CVD/PVD	PECVD
  	PEALD
  	LPCVD
  	PVD
  DRY ETCH	POLY
  	METAL
  	OXIDE/NITRIDE
  	PR STRIP
  용량		~10kW	10kW~	~10kW
  주요주파수		400kHZ, 13.56MHz, 2MHz, 60MHz	13.56MHz, 3.2MHz	13.56MHz