Matching Network
뉴파워프라즈마의 신뢰성높은 제품군을 소개합니다.Matching Network
제품특징
구분 | SEMI | DISPLAY | SOLAR | |
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CVD/PVD | PECVD | ![]() |
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PEALD | ![]() |
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LPCVD | ![]() |
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PVD | ![]() |
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DRY ETCH | POLY | ![]() |
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METAL | ![]() |
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OXIDE/NITRIDE | ![]() |
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PR STRIP | ![]() |
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용량 | ~10kW | 10kW~ | ~10kW | |
주요주파수 | 400kHZ, 13.56MHz, 2MHz, 60MHz |
13.56MHz, 3.2MHz | 13.56MHz |